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標(biāo)簽： 納米技術(shù)

光電信息學(xué)院徐智謀教授團(tuán)隊(duì)在半導(dǎo)體表面有序納米結(jié)構(gòu)陣列研究領(lǐng)域獲新進(jìn)展

Posted by 林 工 Category: 資訊中心 0 Comment
硅納米孔和納米柱結(jié)構(gòu)

近日，《納米技術(shù)》(Nanotechnology, 2017, 28: 095301)正式刊發(fā)徐智謀教授團(tuán)隊(duì)關(guān)于半導(dǎo)體表面有序納米結(jié)構(gòu)陣列研究的最新成果《基于高深寬比AAO掩膜納米孔和納米柱陣列的制備》（Fabrication of nanopore and nanoparticle arrays with high aspect ratio AAO masks）。…